南阳市鑫宇新材料科技有限公司
四路质子混气管式PECVD 本炉子分为四大部分:开启式管式炉,等离子射频电源(50-500w),真空泵和阀门、质子流量计。 该炉在传统PECVD系统基础上实现了快速加热、冷却功能,该炉底部安装了一对滑轨,可手动滑动。采用双层壳体结构。该炉..